x射線光電子能譜分析儀器經(jīng)常又被稱為化學(xué)分析用電子譜，是一種zui主要的表面分析工具。XPS作為當(dāng)代譜學(xué)領(lǐng)域中zui活躍的分支之一，它除了可以根據(jù)測得的電子結(jié)合能確定樣品的化學(xué)成份外，XPSzui重要的應(yīng)用在于確定元素的化合狀態(tài)。XPS可以分析導(dǎo)體、半導(dǎo)體甚至絕緣體表面的價(jià)態(tài)，這也是XPS的一大特色，是區(qū)別于其它表面分析方法的主要特點(diǎn)。此外，配合離子束剝離技術(shù)和變角XPS技術(shù)，還可以進(jìn)行薄膜材料的深度分析和界面分析。
如何評價(jià)x射線光電子能譜分析儀器的優(yōu)劣呢？
x射線光電子能譜分析儀器的優(yōu)點(diǎn)：
1.分析速度快；能譜儀可以同時(shí)接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號(hào)，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素。
2.靈敏度高；X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方，無需經(jīng)過晶體衍射，信號(hào)強(qiáng)度幾乎沒有損失，所以靈敏度高。此外，能譜儀可在低入射電子束流條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。
3.譜線重復(fù)性好；由于能譜儀沒有運(yùn)動(dòng)部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。
x射線光電子能譜分析儀器的缺點(diǎn)：
1.能量分辨率低，峰背比低。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線信號(hào)也被同時(shí)檢測到，從而使得Si（Li）檢測器檢測到的特征譜線在強(qiáng)度提高的同時(shí)，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴(yán)重。故儀器分辨不同能量特征X射線的能力變差。能譜儀的能量分辨率比波譜儀的能量分辨率低。
2.工作條件要求嚴(yán)格。Si（Li）探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時(shí)也不能中斷，否則晶體內(nèi)Li的濃度分布狀態(tài)就會(huì)因擴(kuò)散而變化，導(dǎo)致探頭功能下降甚至*被破壞。
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